Selon des informations de Reuters, la Chine a déjà fabriqué une machine de lithographie EUV à Shenzhen. Reuters avait précédemment affirmé que cette machine avait été réalisée par ingénierie inverse, mais a ensuite clarifié que les modules technologiques clés, tels que l'excitation par rayonnement ultraviolet extrême, n'avaient pas été réalisés par ingénierie inverse.